可能です。
MACアドレスはProbeを使わなくとも、NW機器からの標準フローで取得可能です。
ただし、端末のMACを取得するためには、ルーティングされる前のポイントでフローを生成いただく必要があります。
（ルータなどでルーティングされますと、そのルータのMACアドレスが取得されてしまうため）